182-2103-2874

微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器

微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器，采用科里奧利原理直接測量質(zhì)量流量，精度高達(dá)0.1%FS，量程0~300kg/h，耐壓3.0MPa。適用于需要極高精度和多參數(shù)測量的場合。

產(chǎn)品概述微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器可以對流體介質(zhì)的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的測量和精密的控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領(lǐng)域的科研和...

量程范圍 0~300kg/h
重復(fù)精度 ±0.1% FS
耐壓 3.0 MPa
線性 ±0.1~0.5% FS
工作壓差 0.1~0.5 MPa
產(chǎn)品描述
型號規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品概述

微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器可以對流體介質(zhì)的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的測量和精密的控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

核心特點(diǎn)

高精度測量

直接測量質(zhì)量流量，精度高，對流體介質(zhì)的溫度、壓力和粘度等不敏感

優(yōu)異重復(fù)性

重復(fù)性好，量程比寬，適用于各種流體介質(zhì)

廣泛應(yīng)用

適用于電子工藝設(shè)備、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置等高端應(yīng)用

工作原理

微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器由流量管、陶瓷震蕩器、光電信號拾取器、電阻溫度計(jì)、電信號處理單元、顯示單元和電磁控制閥等組成，信號拾取器1位于流量輸入端，信號拾取器2和3位于流量輸出端.信號拾取器1和2相對于流量管中軸對稱。

科氏質(zhì)量流量控制器開機(jī)后流量管被陶瓷震蕩器激勵做自激振蕩，直至平衡。此時三個信號拾取器處將持續(xù)產(chǎn)生正弦波電壓信號。當(dāng)流體介質(zhì)沒有流動時，三個流量管信號拾取器所在位置沒有相對形變，沒有產(chǎn)生科里奧利力，產(chǎn)生的正弦波電壓信號相位差為0.當(dāng)流體介質(zhì)流動時，信號拾取器1和2處產(chǎn)生的科里奧利力方向相反，使流量管產(chǎn)生扭曲運(yùn)動，從而使信號拾取器1和2處所產(chǎn)生的正弦波電壓信號相位差不為0，由于相位差和質(zhì)量流量成正比，根據(jù)之前標(biāo)定的數(shù)據(jù)計(jì)算出質(zhì)量流量。而信號拾取器3用于相位補(bǔ)償。

流量控制采用PID算法控制電磁閥，精確并快速的控制流量管中的流體質(zhì)量流量達(dá)到設(shè)定值。

型號規(guī)格表

微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器提供多種型號，滿足不同應(yīng)用場景的需求：

產(chǎn)品類型型號代碼量程范圍精度主要應(yīng)用
質(zhì)量流量計(jì)CX-CMFM-CS-F10-30 kg/hr±0.5% FS實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器
質(zhì)量流量計(jì)CX-CMFM-CS-F20-50 kg/hr±0.5% FS半導(dǎo)體工藝、特種材料
質(zhì)量流量計(jì)CX-CMFM-CS-F30-100 kg/hr±0.5% FS化工過程、石油工業(yè)
質(zhì)量流量計(jì)CX-CMFM-CS-F40-300 kg/hr±0.5% FS工業(yè)批量生產(chǎn)、環(huán)保監(jiān)測
質(zhì)量流量控制器CX-CMFC-CS-F10-30 kg/hr±0.5% FS精密配氣、科研實(shí)驗(yàn)
質(zhì)量流量控制器CX-CMFC-CS-F20-50 kg/hr±0.5% FSCVD、等離子刻蝕、濺射
質(zhì)量流量控制器CX-CMFC-CS-F30-100 kg/hr±0.5% FS光纖熔煉、微反應(yīng)裝置
質(zhì)量流量控制器CX-CMFC-CS-F40-300 kg/hr±0.5% FS混氣配氣系統(tǒng)、工業(yè)控制

注：以上為標(biāo)準(zhǔn)型號，可根據(jù)客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質(zhì)。所有產(chǎn)品出廠通常用氣體氮?dú)?N?)液體水(HO?)標(biāo)定，如需要使用其他氣體標(biāo)定，請?jiān)谟嗀洉r說明。

選型指南

選擇適合的微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器時，請考慮以下因素：

考慮因素選擇要點(diǎn)建議
流量范圍根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的最大和最小流量確定選擇量程比實(shí)際最大流量稍大的型號
介質(zhì)類型氣體或液體，腐蝕性或非腐蝕性根據(jù)介質(zhì)選擇相應(yīng)的密封材料和接頭材質(zhì)
精度要求根據(jù)工藝要求的控制精度確定常規(guī)應(yīng)用選擇±0.5%，高精度應(yīng)用可選擇更高等級
壓力條件工作壓差和最大耐壓確保產(chǎn)品耐壓高于系統(tǒng)最大壓力
控制需求只需測量還是需要控制測量選擇CMFM，控制選擇CMFC
接口類型電氣接口和氣路接頭確保與現(xiàn)有系統(tǒng)兼容

溫馨提示：如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。請?zhí)峁┠膽?yīng)用場景、介質(zhì)特性、流量范圍、壓力條件和精度要求等信息。

主要技術(shù)參數(shù)

量程范圍 0~300kg/h
重復(fù)精度 ±0.1% FS
耐壓 3.0 MPa
線性 ±0.1~0.5% FS
工作壓差 0.1~0.5 MPa
工作環(huán)境溫度 0~70℃
準(zhǔn)確度 ±0.5% FS（氣） ±0.25% FS（液）
數(shù)字量接口 RS485 MODBUS協(xié)議
供電 DC +24V
電氣連接 DB15
漏率 1×10?? SCCS He
底座材質(zhì) 16L不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域

微型科里奧利質(zhì)量流量計(jì)/控制器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密流量測量和控制的場合。

半導(dǎo)體制造

用于擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等電子工藝設(shè)備

化學(xué)工業(yè)

用于化工過程控制、反應(yīng)釜加注、混氣配氣系統(tǒng)、微反應(yīng)裝置

制藥行業(yè)

用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測

環(huán)保監(jiān)測

用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量

科研實(shí)驗(yàn)

用于實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器、氣相色譜儀、毛細(xì)管測量等科研場合

真空技術(shù)

用于真空鍍膜、真空爐等設(shè)備中的氣體流量控制

光纖制造

用于光纖熔煉過程中的精密氣體流量控制

特種材料

用于特種材料學(xué)科研發(fā)與生產(chǎn)中的氣體流量精確測量和控制

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