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CX-PRN14 冷陰極真空計

CX-PRN14冷陰極復(fù)合真空計，集成皮拉尼與反置磁控冷陰極技術(shù)，測量范圍110??~110?Pa，響應(yīng)<100ms。配備5位LED顯示、兩路可編程控制開關(guān)、RS485及模擬輸出，適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體、真空爐等工業(yè)與科研場景。

產(chǎn)品概述CX-PRN14 是一款集成皮拉尼（Pirani）與冷陰極（Cold Cathode）技術(shù)的復(fù)合真空計，實(shí)現(xiàn)了從低真空到高真空的全量程連續(xù)測量。該產(chǎn)品采用反置磁控型結(jié)構(gòu)，具...

測量范圍 空氣/N?
反應(yīng)時間 <100ms
真空接口 KF25
真空范圍 1.0×10?? ~1.0×10? Pa
環(huán)境溫度 0℃ ~ +45℃
產(chǎn)品描述
型號規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品概述

CX-PRN14 是一款集成皮拉尼（Pirani）與冷陰極（Cold Cathode）技術(shù)的復(fù)合真空計，實(shí)現(xiàn)了從低真空到高真空的全量程連續(xù)測量。該產(chǎn)品采用反置磁控型結(jié)構(gòu)，具有響應(yīng)快、穩(wěn)定性好、使用壽命長等特點(diǎn)，適用于需要寬范圍、連續(xù)、精確真空監(jiān)測的工業(yè)過程與實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

核心功能

雙技術(shù)復(fù)合

皮拉尼技術(shù)覆蓋中低真空（1E+5 Pa ~ 1E-1 Pa），冷陰極技術(shù)覆蓋高真空（1E-1 Pa ~ 1E-5 Pa），自動切換，無縫銜接。

5位LED顯示

清晰顯示當(dāng)前真空度，單位可在Pa、Torr、mBar之間切換，支持科學(xué)計數(shù)法與浮點(diǎn)數(shù)顯示。

可編程控制點(diǎn)

提供兩路獨(dú)立可設(shè)置的控制開關(guān)（光耦輸出），可通過面板按鍵或通訊設(shè)定觸發(fā)真空度閾值，用于聯(lián)鎖控制或報警。

工作原理

CX-PRN14 集成了兩種經(jīng)典的真空測量原理：

  • 皮拉尼原理（熱傳導(dǎo)）： 適用于中低真空范圍。通過測量加熱燈絲在氣體中的熱損失（與氣體分子密度相關(guān)）來間接測量壓力。

  • 冷陰極電離原理（潘寧放電）： 適用于高真空范圍。在強(qiáng)磁場和電場作用下，氣體分子被電離，離子電流與氣體壓力成正比。

儀器內(nèi)部智能判斷當(dāng)前壓力范圍，自動選用最佳測量原理，確保在整個量程內(nèi)都具有良好的線性與精度。

通訊、控制與集成

CX-PRN14 提供豐富的接口與靈活的配置方式，便于集成到各類自動化系統(tǒng)中。

1. 模擬電壓輸出

通過DB9連接器的Pin4（模擬輸出）和Pin8（模擬地）輸出與當(dāng)前真空度成正比的直流電壓（0.0V ~ +10.0VDC）。電壓與壓力（Pa）的換算關(guān)系為：U = C + 0.818 * lg(P)，其中C為常數(shù)（Pa模式：5.909）。該信號可直接接入PLC的模擬量輸入模塊。

2. 數(shù)字通訊 (RS485 Modbus-RTU)

通過DB9的Pin9（D+）和Pin5（D-）進(jìn)行通訊。支持標(biāo)準(zhǔn)Modbus-RTU協(xié)議，可讀取實(shí)時真空度（科學(xué)計數(shù)法或浮點(diǎn)格式）、讀取/設(shè)置控制點(diǎn)閾值、執(zhí)行校準(zhǔn)命令等。最多支持16個地址組網(wǎng)（通過撥碼開關(guān)設(shè)置）。

3. 可編程控制開關(guān)

內(nèi)置兩路獨(dú)立的控制開關(guān)（光耦輸出，Pin2和Pin3）。用戶可通過面板按鍵或通訊接口，設(shè)置其動作的真空度閾值（范圍：1.0E-1 Pa ~ 9.9E+4 Pa）。當(dāng)真空度低于設(shè)定值時輸出“ON”，高于設(shè)定值的110%時輸出“OFF”，可用于觸發(fā)外部繼電器、報警器或連鎖設(shè)備。

4. 與控制器連接

可直接與WGC150系列真空計控制器連接，實(shí)現(xiàn)多通道集中顯示與控制，適合集成到控制柜中。

型號配置選擇

CX-PRN14 提供多種型號配置，可根據(jù)您的應(yīng)用需求選擇不同的真空接口和電控配置。

產(chǎn)品型號真空接口電控配置描述
CX-PRN14 A00KF25標(biāo)準(zhǔn)全配置包含LED數(shù)碼顯示、RS485、模擬輸出、控制開關(guān)等全部功能
CX-PRN14 B00KF40標(biāo)準(zhǔn)全配置KF40接口，包含全部功能，適用于更大流量的真空系統(tǒng)
CX-PRN14 C00CF25標(biāo)準(zhǔn)全配置CF25法蘭接口，適用于超高真空系統(tǒng)
CX-PRN14 D00CF35標(biāo)準(zhǔn)全配置CF35法蘭接口，適用于更大口徑的超高真空系統(tǒng)

注： 以上為標(biāo)準(zhǔn)型號，如需特殊配置（如不同電源電壓、特殊信號輸出等），請聯(lián)系我們的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)進(jìn)行定制。

型號編碼說明

CX-PRN14 型號采用以下編碼規(guī)則：

編碼部分含義可選值說明
CX-PRN14產(chǎn)品系列固定皮拉尼冷陰極復(fù)合真空計
第一位字母真空接口類型A, B, C, DA: KF25, B: KF40, C: CF25, D: CF35
后兩位數(shù)字電控配置0000: 標(biāo)準(zhǔn)全配置,  

選型指南

根據(jù)您的應(yīng)用場景選擇合適的型號：

應(yīng)用場景推薦型號推薦理由
一般工業(yè)真空監(jiān)測CX-PRN14 A00KF25接口通用性強(qiáng)，全功能配置，性價比高
大流量真空系統(tǒng)CX-PRN14 B00KF40接口，減少流阻，提高測量響應(yīng)速度
超高真空研究CX-PRN14 C00CF25法蘭，適用于超高真空系統(tǒng)，密封性能好
大型真空腔室CX-PRN14 D00CF35法蘭，適用于大尺寸真空腔室的壓力監(jiān)測

溫馨提示： 如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。請?zhí)峁┠膽?yīng)用場景、真空度范圍、介質(zhì)類型和接口要求等信息。

主要技術(shù)參數(shù)

測量范圍 空氣/N?
反應(yīng)時間 <100ms
真空接口 KF25
真空范圍 1.0×10?? ~1.0×10? Pa
環(huán)境溫度 0℃ ~ +45℃
環(huán)境濕度 5% ~ 85% RH，不結(jié)露
顯示 5位LED，單位Pa/Torr/mBar可選
模擬量輸出 0.0 V ~ +10.0 V DC (對應(yīng)全量程)，最小負(fù)載阻抗 10 Ω
數(shù)字通訊 RS485 (非隔離)，支持Modbus-RTU協(xié)議，波特率9600 bps
控制輸出 2路可編程光耦開關(guān)，最大30V/50mA
供電電源 24 VDC ±5%，額定電流0.5A，最大功耗5.0W
防護(hù)等級 IP40 (IEC 529)
接液材質(zhì) SS304不銹鋼，可伐合金(Kovar 4150)，鎢絲，饋通玻璃

注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域

CX-PRN14 全量程復(fù)合真空計憑借其寬量程、高可靠性及靈活的通訊方式，適用于多種需要對真空環(huán)境進(jìn)行精密監(jiān)控的場景。

半導(dǎo)體與光伏

用于PVD/CVD、刻蝕、離子注入等設(shè)備的工藝腔室真空度監(jiān)測。

制藥與生物技術(shù)

用于凍干機(jī)、滅菌柜、生化反應(yīng)器等設(shè)備的真空控制與驗(yàn)證。

實(shí)驗(yàn)室研究

用于材料科學(xué)、表面物理、化學(xué)合成等研究設(shè)備的真空系統(tǒng)監(jiān)控。

真空鍍膜與熱處理

用于光學(xué)鍍膜、工具鍍膜、真空釬焊、燒結(jié)爐的真空度測量。

醫(yī)療器械

用于真空包裝機(jī)、血液分析儀、呼吸機(jī)等醫(yī)療設(shè)備的真空模塊。

新能源與儲能

用于鋰電池真空烘烤、燃料電池測試、真空絕熱板（VIP）生產(chǎn)。

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