基于熱導(dǎo)原理的真空測量設(shè)備，適用于中低真空范圍的精確測量，響應(yīng)速度快，穩(wěn)定性好。
測量范圍覆蓋1.0×10?1 Pa 至 1.0×10? Pa（空氣/N?），適用于多種真空工藝段。
同時提供RS485（Modbus RTU）數(shù)字通訊與2.286V~10.0V模擬量輸出，方便系統(tǒng)集成。
探頭可承受最高150°C烘烤（金屬法蘭型可達250°C），適用于需要高溫烘烤的真空系統(tǒng)。
配備頂部校準按鈕，可在大氣壓或高真空條件下進行快速自動校準，操作簡便。
CX-PRN10皮拉尼真空計采用皮拉尼（熱導(dǎo)）測量原理，適用于干燥空氣或氮氣環(huán)境下的中低真空度測量。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，安裝方便，提供模擬量與數(shù)字量雙重輸出，可便捷地集成到各類真空控制系統(tǒng)、PLC或上位機軟件中。
覆蓋從低真空（100Pa）至中真空（0.1Pa）的廣泛量程，滿足大多數(shù)工業(yè)真空應(yīng)用需求。
響應(yīng)時間約100毫秒，能及時反映真空系統(tǒng)的壓力變化。
同時具備線性模擬電壓輸出與標準Modbus RTU數(shù)字通訊，提供靈活的集成方案。
皮拉尼真空計基于氣體熱導(dǎo)率隨壓力變化的原理工作。規(guī)管內(nèi)的加熱燈絲在真空環(huán)境中散熱條件發(fā)生變化，通過測量燈絲電阻或溫度的變化，即可計算出對應(yīng)的氣體壓力。該原理對于氮氣、干燥空氣等常見氣體具有良好的測量一致性。
產(chǎn)品支持一鍵式大氣壓與高真空零點校準。校準時需確保真空計處于穩(wěn)定的校準環(huán)境（大氣或低于5.0×10?2 Pa的高真空），按住頂部校準按鈕超過3秒，LED指示燈閃爍三次即表示校準完成。
注意： 出廠時已使用干燥空氣/氮氣進行校準。若測量其他氣體，讀數(shù)需根據(jù)氣體種類進行換算。
PRN10通過一個FCC-68型8針接口進行供電與信號連接。
| 針腳號 | 定義 | 說明 |
|---|---|---|
| 1 | +24VDC | 電源正極（5-24VDC） |
| 2 | 電源GND | 電源負極 |
| 3 | 測量信號 | 模擬電壓輸出（2.286-10.0V） |
| 4 | 27KΩ 識別電阻 | 真空計識別 |
| 5 | 信號地 | 模擬輸出參考地 |
| 6 | 空腳 | 保留未用 |
| 7 | RS485 Data- (B) | Modbus數(shù)據(jù)負線 |
| 8 | RS485 Data+ (A) | Modbus數(shù)據(jù)正線 |
模擬輸出電壓（U）與壓力（P）呈對數(shù)關(guān)系：
U = c + 1.286 × lg(P) 或 P = 10(U - c)/1.286
其中常數(shù) c 取決于壓力單位：Pa（c=3.572），mBar（c=6.143），Torr（c=6.304）。
PRN10支持標準Modbus RTU協(xié)議，方便與PLC、工控機或真空控制器（如WGC150）集成。
| 寄存器地址 | 長度 | 內(nèi)容描述 |
|---|---|---|
| 01 | 2字 | 規(guī)管1真空度（科學(xué)計數(shù)法ASCII格式） |
| 11 | 2字 | 規(guī)管1真空度（32位浮點數(shù)格式） |
| 41 | 1字 | 校準命令寄存器（寫1：規(guī)管1大氣校準；寫2：規(guī)管1零點校準） |
注意： 具體功能取決于實際產(chǎn)品配置，編程時請參考完整協(xié)議文檔。
PRN10系列皮拉尼真空計提供標準配置，同時支持多種定制選項，滿足不同真空系統(tǒng)的連接和功能需求。
| 型號 | 連接法蘭 | 信號輸出 | 供電范圍 | 校準方式 | 防護等級 |
|---|---|---|---|---|---|
| CX-PRN10-KF16 | DN16 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-CF35 | DN35 CF | RS4854-20mA | 24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-M | DN16 ISO-KF | RS485 | 5-24VDC | 軟件校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF16-A | DN16 ISO-KF | 0-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
| CX-PRN10-KF40 | DN40 ISO-KF | RS4850-10V | 5-24VDC | 按鍵校準 | IP40 |
注：以上為常用標準型號，我們可根據(jù)客戶需求提供定制化服務(wù)，包括特殊法蘭接口、輸出信號類型、供電電壓等。
PRN10系列支持多種真空法蘭連接方式，適應(yīng)不同真空系統(tǒng)的安裝需求：
| 法蘭類型 | 標準尺寸 | 密封方式 | 適用壓力范圍 | 應(yīng)用場景 |
|---|---|---|---|---|
| ISO-KF | DN16, DN25, DN40 | 彈性體密封圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 中小型真空系統(tǒng)，實驗室設(shè)備 |
| CF法蘭 | DN35, DN50 | 金屬密封（銅墊圈） | 10?? ~ 10? Pa | 高真空、超高真空系統(tǒng) |
| 螺紋接口 | G1/4", G3/8" | 錐面密封或墊圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 小型設(shè)備，空間受限場合 |
| 快卸法蘭 | 定制尺寸 | 彈性體密封圈 | 10?1 ~ 10? Pa | 需要頻繁拆卸的系統(tǒng) |
根據(jù)不同控制系統(tǒng)需求，PRN10系列提供多種信號輸出方式：
| 信號類型 | 輸出范圍 | 精度 | 負載能力 | 通訊協(xié)議 |
|---|---|---|---|---|
| 模擬電壓 | 2.286 ~ 10.0 VDC | ±2.5 mV | 最小10Ω | - |
| 模擬電流 | 4 ~ 20 mA | ±0.1% FS | 最大500Ω | - |
| 數(shù)字通訊 | RS485電平 | - | 32個節(jié)點 | Modbus RTU |
| 開關(guān)量輸出 | 繼電器觸點 | - | 30VDC/1A | - |
根據(jù)不同應(yīng)用環(huán)境和介質(zhì)特性，PRN10系列提供多種接觸介質(zhì)材質(zhì)選擇：
| 材質(zhì)代碼 | 材質(zhì)名稱 | 特性 | 適用環(huán)境 |
|---|---|---|---|
| SS304 | 304不銹鋼 | 良好的耐腐蝕性，經(jīng)濟實用 | 一般工業(yè)環(huán)境，非腐蝕性氣體 |
| SS316L | 316L不銹鋼 | 優(yōu)異的耐腐蝕性，低碳含量 | 腐蝕性環(huán)境，高純度應(yīng)用 |
| AL | 鋁合金 | 輕量化，導(dǎo)熱性好 | 對重量敏感的應(yīng)用 |
| Kovar | 可伐合金4J50 | 與玻璃匹配封接，低熱膨脹 | 需要玻璃-金屬封接的場合 |
選擇合適的PRN10型號時，請參考以下應(yīng)用建議：
| 應(yīng)用場景 | 推薦型號 | 主要理由 |
|---|---|---|
| 實驗室真空系統(tǒng) | CX-PRN10-KF16 | 標準配置，性價比高，兼容大多數(shù)實驗室設(shè)備 |
| 半導(dǎo)體工藝設(shè)備 | CX-PRN10-CF35 | CF法蘭，適合高真空環(huán)境，減少污染 |
| 工業(yè)過程控制 | CX-PRN10-KF16-M | Modbus通訊，便于集成到PLC/DCS系統(tǒng) |
| 簡單監(jiān)測應(yīng)用 | CX-PRN10-KF16-A | 模擬量輸出，接線簡單，成本較低 |
| 較大流量系統(tǒng) | CX-PRN10-KF40 | 大尺寸法蘭，減少流阻，提高響應(yīng)速度 |
溫馨提示：如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術(shù)團隊可以提供免費的選型咨詢服務(wù)。請?zhí)峁┠膽?yīng)用場景、真空范圍、安裝接口和控制系統(tǒng)類型等信息。
| 測量范圍 | 0.1~1E+5Pa |
|---|---|
| 重量 | 150g |
| 防護等級 | IP40 |
| 最大耐壓 | 1.5×10? Pa |
| 響應(yīng)時間 | 100 ms |
| 精度 | 1.0×10?1 ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±20% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50% |
| 重復(fù)性 | 1.0×10?1 ~ 1.0×103 Pa：±2% 1.0×103 ~ 1.0×10? Pa：±5% |
| 供電電源 | +5VDC 至 +24VDC / 0.5A（通過RJ45接口 |
| 最大功耗 | 1.5W |
| 防護等級 | IP40（IEC 529） |
| 連接法蘭 | 默認：DN 16 ISO-KF（可根據(jù)需求定制） |
| 接觸介質(zhì)材質(zhì) | SS304, SS316L, Kovar 4J50，燈絲，饋通玻璃 |
注：以上參數(shù)為標準配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
PRN10皮拉尼真空計適用于多種需要監(jiān)測中低真空環(huán)境的工業(yè)與科研場合。
用于PVD/CVD、刻蝕、離子注入等設(shè)備的工藝腔室壓力監(jiān)控。
凍干機、真空干燥箱、滅菌柜等設(shè)備的真空度測量與控制。
真空蒸餾、過濾、脫氣等化工過程的壓力監(jiān)測。
電池注液、真空封裝等工序的真空環(huán)境保障。
真空手套箱、實驗型鍍膜機、真空爐等科研設(shè)備的壓力測量。
真空包裝機、真空浸漬設(shè)備、真空熱處理爐的配套監(jiān)控。
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