準(zhǔn)確度±1%F.S，重復(fù)精度±0.2%F.S，確保流量測量精度
316L不銹鋼材質(zhì)，氟橡膠密封，適用于多種氣體介質(zhì)
響應(yīng)時間1-4秒，實(shí)時監(jiān)測和控制流量變化
RS485 MODBUS協(xié)議，4-20mA/0-5V模擬量輸出，靈活適配各種系統(tǒng)
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。
準(zhǔn)確度±1%F.S，重復(fù)精度±0.2%F.S，線性±0.5-1.5%F.S
響應(yīng)時間1-4秒，電特性10秒，實(shí)時監(jiān)測和控制流量變化
RS485 MODBUS協(xié)議，4-20mA/0-5V模擬量輸出，DB15電氣連接
CX系列氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司獨(dú)特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成——速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。
質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計出廠時一般用空氣或者氮?dú)鈽?biāo)定，實(shí)際使用中如果是其他氣體，必要時可進(jìn)行讀數(shù)修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。
| 氣體 | 代號 | 轉(zhuǎn)換系數(shù) | 氣體 | 代號 | 轉(zhuǎn)換系數(shù) |
|---|---|---|---|---|---|
| 空氣 | 008 | 1.006 | 氮?dú)?/td> | 001 | 1.415 |
| 氬氣 | 004 | 1.415 | 氮?dú)?/td> | 013 | 1.000 |
| 氧氣 | 015 | 0.992 | 氫氣 | 007 | 1.010 |
| 二氧化碳 | 025 | 0.737 | 甲烷 | 028 | 0.719 |
| 氨氣 | 029 | 0.719 | 氦氣 | 002 | 1.415 |
注：以上為部分常用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)，完整的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表請參考產(chǎn)品說明書。對于混合氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)需按特定公式計算。
CX系列提供多種型號的氣體質(zhì)量流量計和控制器，覆蓋從≤10 SCCM到3000 SLM的流量范圍，滿足不同應(yīng)用需求。
| 型號代碼 | 流量范圍 | 供電電壓 | 輸出信號 | 顯示 | 通訊 | 精度 | 連接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F1 | ≤10 SCCM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F4 | 150 - 250 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F5 | 300 - 1000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F6 | 1000 - 2000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7 | 2000 - 3000 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| 型號代碼 | 流量范圍 | 供電電壓 | 輸出信號 | 顯示 | 通訊 | 精度 | 連接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F1 | ≤10 SCCM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F4 | 150 - 250 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F5 | 300 - 1000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F6 | 1000 - 2000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7 | 2000 - 3000 SLM | 12-24V | 0-5V / 4-20mA | LCD | RS485 | ±1%FS | 12mm卡套 |
| 型號代碼 | 流量范圍 | 供電電壓 | 輸出信號 | 顯示 | 精度 | 連接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFC-CXC-A-N-A1-F1 | ≤10 SCCM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXC-A-N-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFC-CXC-A-N-A1-F3 | 30 - 150 SLM | ±15V / 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| 型號代碼 | 流量范圍 | 供電電壓 | 輸出信號 | 顯示 | 精度 | 連接方式 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| GMFM-CXC-A-N-A1-F1 | ≤10 SCCM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXC-A-N-A1-F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 6mm卡套 |
| GMFM-CXC-A-N-A1-F3 | 30 - 150 SLM | 24V | 0-5V / 4-20mA | 無顯示 | ±1%FS | 10mm卡套 |
| 代碼 | 含義 | 說明 |
|---|---|---|
| GMFC | 氣體質(zhì)量流量控制器 | 帶控制功能 |
| GMFM | 氣體質(zhì)量流量計 | 僅測量功能 |
| CXB | 數(shù)顯系列 | 帶LCD顯示和通訊功能 |
| CXC | 模擬系列 | 無顯示，模擬信號輸出 |
| 代碼位置 | 代碼 | 含義 | 說明 |
|---|---|---|---|
| 輸出信號 | 4 | 4-20mA輸出 | 電流信號輸出 |
| 通訊接口 | R4 | RS485通訊 | MODBUS協(xié)議 |
| 顯示類型 | D | LCD顯示 | 數(shù)顯功能 |
| 顯示類型 | N | 無顯示 | 模擬型號 |
| 信號類型 | A1 | 0-5V輸出 | 電壓信號輸出 |
| 流量范圍 | F1 | ≤10 SCCM | 微小流量 |
| 流量范圍 | F2 | 10 SCCM - 30 SLM | 小流量 |
| 流量范圍 | F3 | 30 - 150 SLM | 中等流量 |
| 流量范圍 | F4 | 150 - 250 SLM | 大流量 |
| 流量范圍 | F5 | 300 - 1000 SLM | 超大流量 |
| 流量范圍 | F6 | 1000 - 2000 SLM | 工業(yè)級流量 |
| 流量范圍 | F7 | 2000 - 3000 SLM | 特大型流量 |
選擇適合的氣體質(zhì)量流量計/控制器型號時，請考慮以下因素：
| 應(yīng)用場景 | 推薦型號系列 | 理由 |
|---|---|---|
| 實(shí)驗(yàn)室研究 | GMFC-CXB / GMFM-CXB F1-F2系列 | 小流量范圍，高精度測量，LCD顯示，適合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境 |
| 半導(dǎo)體工藝 | GMFC-CXB F1-F3系列 | 精確控制，RS485通訊，適合工藝氣體控制 |
| 工業(yè)過程控制 | GMFC-CXB F3-F5系列 | 中等流量，穩(wěn)定可靠，適合工業(yè)環(huán)境 |
| 環(huán)保監(jiān)測 | GMFM-CXB F2-F4系列 | 流量測量，數(shù)據(jù)記錄，RS485通訊 |
| OEM設(shè)備集成 | GMFC-CXC / GMFM-CXC系列 | 無顯示，體積小巧，適合設(shè)備內(nèi)置 |
| 大型工業(yè)裝置 | GMFC-CXB F5-F7系列 | 大流量控制，工業(yè)級可靠性 |
溫馨提示：所有產(chǎn)品均采用氮?dú)鈽?biāo)定，如使用其他氣體需進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換。如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。請?zhí)峁┠膽?yīng)用場景、介質(zhì)特性、流量范圍、精度要求和安裝環(huán)境等信息。
| 測量精度 | ±1%F.S |
|---|---|
| 工作溫度 | 0-70℃ |
| 量程范圍 | 0~3000SLM |
| 工作壓差 | 0.1-0.5MPa |
| 工作溫度 | 0-70℃ |
| 耐壓 | 3MPa（高壓定制咨詢工程師） |
| 數(shù)字量 | RS485 MODBUS 協(xié)議 |
| 模擬量 | DC 0-5V , 4-20mA 可選 |
| 供電 | DC +15V/24V 可選，流量計<400mA，控制器<600mA |
| 底座材質(zhì) | 316L 不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 氣路接頭 | Φ3, Φ6, Φ10, 1/8″, 1/4″, 3/8″ |
注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
CX系列氣體質(zhì)量流量計/控制器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密氣體流量測量和控制的場合。
用于擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝
用于化工過程控制、反應(yīng)釜加注、混氣配氣系統(tǒng)
用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測
用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量
用于實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器、氣相色譜儀等
用于真空鍍膜、真空爐等設(shè)備中的氣體流量控制
用于太陽能電池板制造過程中的氣體流量精確控制
用于呼吸機(jī)、麻醉機(jī)等醫(yī)療設(shè)備中的氣體輸送控制
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