采用陶瓷薄膜電容傳感技術(shù)，測量精度可達±0.25%讀數(shù)
陶瓷材料與氟橡膠密封，適用于多種工藝環(huán)境
機械形變傳感原理，測量結(jié)果不受氣體種類影響
響應(yīng)時間<10ms，實時監(jiān)測真空變化
CFG500系列薄膜電容真空規(guī)是陶瓷膜片型真空壓強測量高精度器件。陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定性可以使它的工作溫度范圍高達-40～125℃，而且具有測量精度較高、穩(wěn)定性較好、抗過載能力較強等特點。
CFG500系列薄膜電容真空規(guī)采用雙片圓形薄陶瓷片封裝成背壓恒定的密封腔，當(dāng)測量面出現(xiàn)真空負壓時，陶瓷片呈彎彎形變，前置陶瓷片與背景陶瓷片間距發(fā)生變化導(dǎo)致平行電極間電容發(fā)生變化，通過測量電容變化計算電極間距離變化，通過陶瓷彈性形變進而傳感出真空壓強。
采用機械形變傳感真空壓強，測量結(jié)果不受氣體種類影響。
氧化鋁陶瓷與氟系密封件，適用于多種腐蝕性、氧化性環(huán)境。
陶瓷材料形變恢復(fù)無遲滯，長期穩(wěn)定性較好。
CFG500可作為獨立儀表使用，也可連接控制器或電腦進行數(shù)據(jù)采集與控制。
通過+24VDC電源適配器供電，即可作為便攜式真空計使用。
可與150真空計控制器直接連接，實現(xiàn)面板安裝或臺式使用。
通過RS485轉(zhuǎn)USB轉(zhuǎn)換器連接電腦，安裝GaugeReader軟件進行實時監(jiān)測。
可通過模擬電壓輸出或RS485 Modbus-RTU協(xié)議與PLC集成。
| 參數(shù) | 數(shù)值 / 說明 |
|---|---|
| 測量范圍 | 1 Pa ~ 1.0×10? Pa（約 1000 mBar） |
| 測量精度 | ±0.25 % 讀數(shù) |
| 測量重復(fù)性 | ±0.1 % 全量程 |
| 測量分辨率 | 0.002 % 全量程 |
| 長期穩(wěn)定性 | 每年變化 ≤ 滿量程 ±0.5 %（不含環(huán)境變化因素） |
| 溫度補償范圍 | -20°C ~ +80°C，±0.01 % FS/°C |
| 工作環(huán)境 | -10°C ~ +50°C；相對濕度 5% ~ 85%，不結(jié)露 |
| 供電電源 | +24 VDC（±20%），功耗 ≤ 0.5 A 適用電壓范圍：+5.0 VDC ~ +32 VDC |
| 電接口插座 | D-Sub 15 Pin（公頭） |
| 真空接口 | 默認 DN16 ISO-KF（其他接口可定制） |
| 最大承壓 | 1.5×10? Pa（約 1.5 Bar） |
| 重量 | 約 250 g（含 DN16 ISO-KF 法蘭） |
注：
| 應(yīng)用場景 | 推薦型號 | 理由 |
|---|---|---|
| 粗真空測量（如真空包裝、干燥） | CFG500-1000mBar | 量程寬，適合大氣壓至中真空范圍 |
| 中真空過程控制（如鍍膜、燒結(jié)） | CFG500-100mBar | 精度較高，適合工藝過程監(jiān)測 |
| 高真空前級測量（如分子泵前級） | CFG500-10mBar | 適用于較低壓力測量，響應(yīng)快 |
| 測量精度 | ±0.25% |
|---|---|
| 重復(fù)性 | ±0.1% |
| 反應(yīng)時間 | <10 ms |
| 測量范圍 | 小量程1pa~2000pa 大量程1000~100000pa |
| 耐壓 | 3.0×10? Pa（三個大氣壓） |
| 工作環(huán)境 | -10℃～+50℃；5～85% RH，不結(jié)露 |
| 信號輸出 | 模擬量輸出0.0～10.0VDC；RS485 Modbus-RTU；2路可設(shè)置控制開關(guān) |
| 供電電源 | 4±5 VDC，整機最大功耗1.0W |
| 真空接口 | 默認DN16 ISO-KF，支持定制 |
| 接液材質(zhì) | SS304不銹鋼，氧化鋁陶瓷，氟橡膠 |
注：以上參數(shù)為標準配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
CFG500系列薄膜電容真空計廣泛應(yīng)用于需要高精度、高穩(wěn)定性真空測量的工業(yè)與科研領(lǐng)域。
用于PVD、CVD、刻蝕等工藝腔室的真空度監(jiān)測。
用于凍干機、滅菌柜、隔離器等設(shè)備的真空控制。
用于材料研究、真空鍍膜、表面分析等實驗裝置。
用于真空爐、釬焊爐、燒結(jié)爐的工藝壓力控制。
用于真空吸引、呼吸機、麻醉機等醫(yī)療真空系統(tǒng)。
用于鋰電池注液、真空干燥等工藝的真空監(jiān)測。
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