結(jié)合多種測量技術(shù)的真空測量設(shè)備,覆蓋從低真空到高真空的廣泛測量范圍。
集成皮拉尼與熱陰極技術(shù),適用于寬量程真空測量,具備數(shù)字顯示、模擬輸出、RS485通訊及雙路控制開關(guān)功能。
集成皮拉尼與冷陰極技術(shù),適用于從低真空到高真空的全量程精密測量。
反置磁控型皮拉尼冷陰極復(fù)合真空計,適用于1.0×10?? Pa至1.0×10? Pa量程,支持模擬輸出、數(shù)字通訊與可編程控制開關(guān)。
集成 MEMS 壓電與皮拉尼傳感器,適用于真空鎖控制、連續(xù)真空工藝等應(yīng)用場景。